个人感觉：三价元素替代四价元素会形成p型半导体，在替代的过程中造成了电荷的不平衡（即空穴增多），而氧空位（n型导电特性）可以补偿p型半导体，从而造成氧空位比正常情况下偏多。

而五价元素替代四价元素恰好与上述情况相反。

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